MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的简称，中文名字是微机电系统。MEMS芯片简单点来说，便是用半导体技术在单晶硅片上生产制造电子机械系统，再形象一点说便是做一个微米纳米级的机械系统，这一机械系统能够把外部的物理、化学数据信号转化成电子信号。这类集成ic做出来能够干什么?最常见的是承担传感器作用。在整个大的信息管理系统里有点儿类似人的感官，比如MEMS话筒集成ic等同于人的耳朵里面，能够认知响声;MEMS音箱集成ic等同于人的嘴巴，能够发出声音;MEMS加速度传感器、陀螺仪、磁感应器集成ic等同于人的小脑，能够感知方位和速率;MEMS压力集成ic等同于人的肌肤，能够感知压力;MEMS化学感应器等同于人的鼻孔，能够感知味儿和温度湿度。沒有MEMS芯片的人工智能技术和物联网，就等同于一个没有感官系统的人。
MEMS被觉得是21新世纪最有发展前途的技术性之一，假如半导体材料微制造被视作第一次微制造改革，MEMS则是第二次改革。融合硅基电子信息技术和微机械加工制造技术性，MEMS具备颠覆性的工业生产和消费商品的发展潜力。
在这里必须划重点的是，MEMS是一种生产技术，例如杆杠、传动齿轮、活塞杆、汽车发动机乃至蒸汽机全是由MEMS生产制造的。实际上，MEMS这个词事实上有一定误导，由于很多微工业设备在一切实际意义上面并不是机械设备的。殊不知，MEMS又不仅是关于机械零部件的小型化或用硅生产制造东西，它是是一种运用大批量生产技术设计、建立繁杂工业设备和系统以及集成化电子产品的案例。再具化一点讲，集成电路芯片的设计是为了更好地运用硅的电力学特性，而MEMS则运用硅的机械设备特性，换句话说运用硅的电力学和机械特性。
那MEMS传感器又是啥?MEMS传感器便是把一颗MEMS芯片和一颗专用型集成电路芯片集成ic(ASIC芯片)封裝在一块后产生的元器件。
MEMS传感器里最重要的便是MEMS芯片。MEMS芯片能够把外部的物理、化学数据信号转化成电子信号，而ASIC是把MEMS芯片造成的电子信号进一步处理和传送到下一级电路。沒有MEMS芯片，MEMS传感器便是一个没有灵魂的空壳子。 |
